二手 KOKUSAI DD-802V-B #9044527 待售

KOKUSAI DD-802V-B是一种扩散炉及配件设备，旨在为先进半导体产品提供高效、经济高效的生产。它由工艺室、晶圆船、热加热元件、泵和带有整体石英管的工艺室组成。主加工室采用不锈钢制成，容积47升。腔室装有最高温度1200 °C的容器。晶圆船有三个300°C至1200°C的温度区，允许晶圆生产时有效的过程控制。加热元件在扩散过程中提供晶圆船的均匀加热。整体石英管在扩散过程中便于晶圆表面掺杂。石英管的温度稳定性为1 °C，可以调整管内容积以增加或减少掺杂过程。此外,还有一个集成到工艺室中的泵。该泵用于确保化学品在扩散过程中的有效流动。KOKUSAI DD-802VB的製程室设有三个气体输入。这是用来允许过程在各种大气下运行，如还原，氧化和惰性。除气体输入外，该过程还包括压力和温度监测仪，允许精确控制扩散大气。该系统配备了安全功能，如连接到晶圆船和加工室的热电偶，以监测生产过程中两者的温度。此外，还使用气体/气流装置，以确保在该过程中安全和有效地清除任何有害排放物。总体而言,DD-802V-B是一种可靠高效的扩散炉及附件机.它旨在提供经济高效的先进半导体产品生产,使公司能够提高产品质量并降低运营成本。它提供各种安全功能，以确保操作员的安全工作环境。整体石英管可方便掺杂，增加温度稳定性，改善扩散气氛的控制。