二手 KOKUSAI DD-823V-8BL #9028314 待售

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KOKUSAI DD-823V-8BL
已售出
ID: 9028314
晶圆大小: 8"
优质的: 1995
Pyro (N2O) furnace, 8" 1995 vintage.
KOKUSAI DD-823V-8BL是一种扩散炉,设计用于包括晶圆键、氧化物沉积和高温退火在内的一系列热过程。这种多用途的机器采用高温绝缘和氧化铝板等高级部件制造,以实现卓越的温度控制。它提供了250°C至1200°C的可调内部温度、出色的均匀性和高可重复性,并在整个工作范围内具有0.1°C的稳定性。温度范围可通过用户友好的数字控制界面调节,这也允许可编程的温度剖面。它还通过内置警报和关闭电源提供保护,防止温度过高。DD-823V-8BL被盖在石英管的石英坩埚中,在热处理过程中用来安放坩埚和晶圆。这种石英管包括一个观察过程的石英窗口,以及一个在过程进行过程中最大限度减少热量损失的盖子。由无氧大气层提供动力,crucible可以维持各种过程所需的温度和氧化水平。该炉还包括一些附加功能,如隔离电源、涡轮式鼓风机和用于精确温度管理的独立PID控制器。此外,用户可以自定义预热时间和进程之间的间隔时间等设置。KOKUSAI DD-823V-8BL是一种坚固可靠的扩散炉,非常适合电子和半导体制造中使用的各种工艺。其特点包括温度控制技术和温度剖面规划,使其成为高效、精确热处理的理想炉。
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