二手 KOKUSAI DD-853V #9074137 待售

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KOKUSAI DD-853V
已售出
製造商
KOKUSAI
模型
DD-853V
ID: 9074137
晶圆大小: 8"
FOX cure diffusion furnace, 8" 850º Controller type: CX.3000 Software: 03.41.00 AVG configured OS: Japanese Oven type: D4EX08454.
KOKUSAI DD-853V是一种最先进的水平扩散炉,设计用于半导体加工中所有标准工艺的卓越性能。具有高精度的壁式反应器和可靠的双节段耐火衬里,可产生优越的均匀性。该设备提供了卓越的可重复性、准确性和均匀性、热和温度均匀性,同时还有助于降低与实验过程和停机时间相关的成本。该系统的最高温度为1,180 °C,最低温度为800°C,公差±为1°C。这确保了大规模生产运行不会遇到传统扩散炉的问题。该设备还提供高性能真空级别,具有高达10-5Pa的向下加热功能,以及1.5x10-5 Pa/秒到0.5x10-4 Pa/秒的可变上暖速率。此外,扩散炉的功率很容易通过控制台界面控制的参数进行管理和控制。KOKUSAI DD 853V提供各种配件,以满足不同级别用户的需求。其中包括升级的冷却机、特殊的扩散板、粒子过滤器、定制的热区等等。可自定义的热区还具有多个列和插槽,而冷却工具具有高容量冷却资产,可确保高效冷却时间。DD-853V采用的先进的自动化和控制模式确保了平稳运行和加强过程控制。此外,加热和冷却时间容易编程。用户还可以通过液晶显示器显示器轻松跟踪和监控其扩散过程。总体而言,DD 853V是一种有效且成本效益高的扩散炉及配件解决方桉,在半导体加工的许多方面都表现出色。KOKUSAI DD-853V凭借其先进的自动化和控制设备、高效的冷却系统以及可升级的配件,是寻求达到优越生产速率和质量水平的客户的理想选择。
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