二手 KOKUSAI DD-853V-8BL #9021601 待售

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ID: 9021601
Furnace.
KOKUSAI DD-853V-8BL是一个扩散炉和附件包设计提供均匀扩散和不间断生产。该套件具有结构CVD/PECVD工艺室、石英船、可选的电梯系统以及各种其他附件,以实现最佳的设备性能。与其他扩散室设计相比,该工艺室具有更快的加工速度,提高了生产效率。KOKUSAI DD853V-8BL扩散炉具有8英寸乘8英寸的腔室尺寸,专为生产高纯度和高产均质膜而设计,是大型研究和商业操作的理想选择。包装最多可容纳3艘石英船,可用于加工硅、硅基器件、铜酸盐基化合物等多种材料。该工艺室采用多滑动和开放式设计,可方便高效地装卸物料和统一的腔室操作。该套件还有一个可选的高程系统,允许石英船在扩散室内高效循环。这种自动电梯单元设计为提供可靠、安全的操作、精确的定位和改进的热均匀性。DD853V 8BL还包括各种扩散炉附件,如溅射电源、电极射频偏置电源、助推泵、惰性气体调节器和气体质量流量控制器。KOKUSAI DD853V 8BL扩散炉包件中的所有部件均设计为可靠高效的性能。该室采用低热质量的QuartzCote防护和多滑设计,确保了卓越的热均匀性,而石英船和升降机则增加了便利、提高了稳定性,有效利用了空间。该套件的设计考虑到了安全性和便利性,并且为了最大程度地便于使用和提高效率,KOKUSAI采用可编程设置和通用控制系统实现自动化,以确保生产的准确性和统一结果。
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