二手 KOKUSAI DJ-802V #9094687 待售

KOKUSAI DJ-802V是一种扩散炉和配件，可用于与生产半导体和半导体元件有关的多种任务。KOKUSAI DJ 802 V能够进行高质量的掺杂、退火和氧化过程。DJ-802V是一个完全独立的单元，包括真空室、室内加热器和气体输送系统。DJ 802 V为用户提供温度高达1100摄氏度的工艺室。该工艺室由镀铬矩形不锈钢构成，并用二硅化铵加热元件绝缘。该工艺室的绝热性能极佳，保证了快速的温度倾斜和严密的温度控制。KOKUSAI DJ-802V还配备了先进的气体输送系统，能够接纳氮和不同的前体。装置内部安装了具有磁悬浮耦合的高真空泵系统，以提供过程所需的必要真空水平。可选的射频发生器可用于低压PECVD工艺。该工艺室有两个用于样品引进和观测的石英顶载口和两个用于装载大型晶片和样品的基板支架。加工室可容纳高达200 x 300 mm的晶片，厚度可达4mm。控制器和软件包使用户能够与设备进行交互并控制炉子的各个方面。可以从用户界面远程调整所有进程参数。该单元还配备了几个安全功能，以防止意外损坏或损坏该单元。KOKUSAI DJ 802 V的所有组件都经过测试和认证，以符合严格的安全标准。DJ-802V是一种可靠而坚固的扩散炉，适用于与半导体生产有关的许多任务。DJ 802 V凭借其高温能力、先进的安全特性和软件驱动的控制器，脱颖而出，成为一款用途广泛的扩散炉及配件套装。