二手 KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L #161991 待售

KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L是为满足半导体研发、学术、制造等领域的需求而设计的扩散炉及配件包。815V-8L套件包括工作温度范围为500-1600 °C的8x15x3英寸真空石英陶瓷室、3英寸石墨敏感器、可变压力气体喷射器设备、高真空泵送系统以及单独的排气口。该扩散炉采用闭环PID加热器损耗控制装置，优化了加热元件的热平衡。其焊接加热元件设计为减少侵蚀，提高室内温度均匀性。室内使用氧化铝隔热罩和气流风扇也增强了温度均匀性。3英寸的石墨敏感器为生产环境提供了更高的加热速率，并允许小面积的快速冷却。它还为基板运输和装载提供了一个方便的平台。可变压力气体喷射机是为低压掺杂物扩散到半导体晶片而设计的。高真空抽水工具确保腔室在引入掺杂气体前被抽空，从而提高了装置的运行效率。该扩散炉设计具有控制有害气体和等离子体过程的安全特性。这些包括压力报警器、计时器、温度监测、电流监视器和互锁系统。此外,该设备还具有集成的过载保护器,可降低触电风险。此外，Vertex V-DJ 815V-8L由一套综合的基于Windows的软件支持。该软件提供了便于用户使用的工具，用于监测、控制和记录流程参数，以及实时数据的显示。总体而言，KOKUSAI Vertex V-DJ 815V-8L是满足半导体行业苛刻应用的理想解决方桉。它提供了出色的温度均匀性、高真空操作和先进的安全特性，所有这些都在紧凑的外形内。其通用的石墨敏感器和可变压力气体喷射器使其成为研究和生产环境的理想选择。总体而言，Vertex V-DJ 815V-8L是扩散炉和附件包装的绝佳选择。