二手 MRL 1920 #104811 待售

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製造商
MRL
模型
1920
ID: 104811
晶圆大小: 12"
Single stack diffusion furnace, 12" Currently set up for anneal process: Oxygen, Nitrogen and Argon Could be used for Anneal or Oxide Furnace Atmospheric pressure operation Three zones Temperature up to 1200°C 208 V, 3 phase, 180 A.
MRL-MRL 1920是一种由顶级材料制成的高温扩散炉。它的设计目的是在两个或两个以上的加热表面上创建一个低热损耗和极高的温度均匀性的均匀热源。设备包括炉室、电源、绝缘、底顶支撑板、温度控制单元、排气扇、温度监测单元、冷却系统和紧急关闭。该炉采用高品位钼和石墨制成,具有良好的导热性能和纵向稳定性。炉子由电阻点加热元件加热,在峰值设置时估计功率输入高达1920千瓦。它配备了一个数字控制单元,用于在1200-1800 °C的范围内进行精确的温度控制。绝缘是实现制造商在加热表面上的温度均匀性± 2°C的关键因素。MRL-MRL 1920采用多层绝缘结构,多层高温纤维和陶瓷块。温度控制由嵌入式数字温度控制单元处理。这个最先进的装置有一个反馈机器,由两个独立的温度传感器组成,一个位于工作区域内,另一个嵌入盖子内。这两个传感器串联工作,以检测炉膛内设置和实际温度之间的任何偏差。MRL-1920还配备了自动排气风扇和循环冷却工具,增加了一层额外的热保护。排气风扇有助于冷却热区,以尽量减少温度波动,而冷却资产则有助于保持模型免受极端温度条件的影响。最后,安全设备包括一个紧急关闭开关,在发生任何警报或故障时切断电源。此外,还有几个安全联锁装置,如果有不安全条件的危险,则阻止炉子运行。总之,MRL-MRL 1920扩散炉一定能为您提供最高质量的热处理,使其成为可靠可靠的加热解决方桉。
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