二手 SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300 #9075734 待售

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SVG / THERMCO / AVIZA RVP 300
已售出
ID: 9075734
晶圆大小: 12"
TEOS Furnaces, 12" Currently in fab.
SVG/THERMCO/AVIZA RVP 300是一种高品质的扩散炉和附件,用于专业实验室环境中的热和电处理应用。这种组合设备包括容量可达300 cc的真空密封工艺室、固态工艺控制器以及各种附加组件,以方便先进工艺。该工艺室由高导热材料制成,采用射频加热设计,效率更高。它还与可用于快速热过程的导热气体兼容,并具有600°C/秒的快速坡道加热能力以提高吞吐量。对于需要精确温度控制的应用,工艺控制器可提供精确的温度调节,目标精度±为0.5°C。它能够同时监测工艺室的温度和气体压力,并具有安全的过热保护功能。该系统的其他功能包括一个自动、连续的真空循环,腔室泵送速度为10立方米/小时,腔室压力范围为100 mTorr至8016 mTorr,并且具有晶圆/虚拟装卸的可转动驱动器。晶圆和虚拟加载端口都存在,驱动器的可调速度便于加载和卸载操作。该装置还包括一个供气的温度入口和一个6个场景的可编程气体搅拌控制台,可高达1800°C。它允许精确控制加工气体,以便在加工过程中产生所需的热效应。集成气体洗涤器还允许在工艺完成后清除未反应的气体。总体而言,SVG RVP 300扩散炉及附件是一种可靠且用途广泛的机器,具有多种功能,可方便各种热过程。对于需要可靠、准确的扩散炉及附件的专业实验室来说,它是一个理想的解决方桉。
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