二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #191404 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805是用于半导体加工的扩散炉。这种高端的实验室级炉能够执行各种过程，如快速热退火（RTA）、晶体管制造和高温扩散。该炉还能够提供高达210kw（千瓦）的峰值加热功率。该炉具有全不锈钢内部，由8英寸圆形热区组成。这与石墨绝缘体耦合，以确保均匀的温度分布以达到均匀的处理结果。而且，熔炉可以达到高达1250°C的温度进行快速热处理，以及高达950°C的扩散处理。TEL Alpha 805还提供精确的温度控制,稳定性为+/-0.2 °C。通过480V/ 3Phase/60Hz交流电源连接向炉子供电。由于对炉子的高功率要求，它配备了一个三相变频驱动器（VFD），为稳定的处理提供精确、可靠的控制。该炉也可在独立或计算机控制模式下操作。直观、多语言的触摸屏界面为系统增加了更多的便利性和用户友好性。TOKYO ELECTRON ALPHA 805还提供出色的安全功能,包括热切断开关和氧气监视器,以及具有20 mbar （milliBar）、高达0.5 Pascal Vacuum的30步高压真空系统。此外，一个完整的，完全可伸缩的盒式负载锁定系统允许方便访问和样品加载。对于可靠、高效的晶圆级处理结果，Alpha 805是一个不错的选择。其直观的用户控制、精确的温度控制、高精度和安全特性使其成为任何现代半导体实验室的理想扩散炉。