二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SE #9050117 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE是一种扩散炉和附件，其设计使工艺具有灵活性，同时在基材加工中提供高度的重复性和准确性。TEL Alpha 808SE由一个加热室、一个反应室和几个辅助系统组成。加热室采用两个电阻加热系统（RHS）和一对气体喷射系统，以保证室内统一高温条件。RHS包含高性能加热元件,能够产生高达1000摄氏度的温度,并具有非常低的温度梯度。这一点通过气体注入得到进一步加强，气体注入被输送到喷嘴，然后注入反应室，反应室将沉积的气体和熔炉环境溷合在一起，产生所需的工艺气氛。热量从加热室中发出，并由反应室中的特殊传感器监测。此外，该室还配备了惰性环境监测仪设备，以保持高质量的工作环境。反应室还包括一个压力控制的流动系统，稳定室内的大气，使过程循环更快，对蚀刻参数有更好的控制。此外，流量单元与排气机配对，以保证无颗粒物的大气。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE通过包括机器人基板传递臂和七轴机器人臂在内的高精度位移系统提供高效的基板加工。这些由高级控制和监控工具控制，可用于精确控制整个资产。最后,Alpha 808SE附带了几个可选的附件,包括用于物料处理的组件交付模型、温度控制器和数据记录器,以允许用户记录和监视设备的温度、压力和其他参数。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SE扩散炉是一种可靠的基板加工工具，具有高温、均匀的温度分布和广泛的运动控制选项。