二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #104721 待售
看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。
单击可缩放
已售出
ID: 104721
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
High-temp furnace, 8"
Process: Oxide
8 cassette stockers
Frequency 60 Interface.-Cassette ¡V 8"-Phase -3 Voltage, 208V
Facilities entry at bottom
Wide Body style, Right sided
Brooks 5964 MFCs
MFC 7 HCl 1 slm
MFC 6 O2 1 slm
MFC 5 O2 20 slm
MFC 4 H2 10 slm
MFC 3 Ar 20 slm
MFC 2 N2 5 slm
MFC 1 N2 20 slm
TS-4000SZ Furnace controller
Varian TEL LR300 Temperature controller
AP Tech O2 and H2 flow switches
HEL Pyro Control
Touch screen operator interface
Load Size 100 wafers-(upgradeable 150)
1200 C Heater Core
Lip Seal, Inner T/C, Linear aligner UP/DOWWN axis slide motions
No variable pitch. Single or five (5) wafers
Boat, CLN ON 07-00202
Cover, Pedestal 07-00204
Pedestal 07-00205
PFA tube (6.35x4.35x1.0T) 06-22014-00-16 inch process Tube
Rapid Cooling
System power rating: 3 Phase, 208 V, 60 Hz
1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种多区扩散炉及其附件，主要用于半导体加工。炉子是一个水平导向的，PC控制的炉子，由一个内加工室和一个外壳组成。TEL ALPHA-8S能够处理小规模样品，如工件、基板和模具，最大尺寸为25mm x 25mm x 10mm。加工室由铝合金构成，内部容积为640 x 550x3.5mm（L × W × H）。供热区由多达6个带有上下风扇的供热站组成，以调节温度，优化均匀性。加热元件使用最大额定功率为4kW的Kanthal型。该炉装有两个独立的温度控制系统，一个用于稳态温度，另一个用于快速热倾斜或冷却。稳态温度精度± 1 °C，快速热倾角温度精度± 3 °C。即使温度提高到200 °C （392 °F）也能保持精度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S的过程是由高端PC控制器控制，允许高速数据采集和显示。数据采集可靠、智能，有多套配方和参数。它提供了一个复杂的用户界面和操作菜单，优化了快速和易于操作。TEL ALPHA-8 S也可用于加工其他材料，如金、铜、铝和锡。ALPHA-8 S的扩散过程可以根据特定过程的要求进行定制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S系统的附件包括手动测试的气体流量计、气体蓄能器、隔热盖、气体流动调节器、气体压力开关和清除气瓶。总之，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S是一种多区扩散炉，内部为铝合金，用于小样品。它具有两个独立的温度调节系统，可调节风扇以实现均匀的温度控制，一个用于数据采集和显示的高性能PC控制器以及各种可定制的过程。配件还有助于最大限度地提高ALPHA 8 S的性能，使其成为半导体工具加工的理想选择。
还没有评论