二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #190957 待售
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ID: 190957
晶圆大小: 8"
优质的: 1996
Nitride furnace, 8"
Specifications:
Process: Nitride
Software version: TS-4000-1996
Power: 110AC One Phase / 208 AC 3Ph
Loading configuration: 6 loader
Main system:
TS4000 Controller
Photohelic Gauge
Boat Elevator
Wafer Load Automation
16 Cassette stocker
Temperature Controller (M121)
Furnace Monitor, Power Control Unit
Remote Utility & Gas Cabinet
Inner T/C for Ration Mix
HCL Detector
Auto Shutter
Gas system (NH3, DCS)
Options:
(1) Signal Tower
(2) Pitch Change Mechanism
(3) UPS
(4) GEM Communication
N2 Load Lock Ambient Control Option
Load size 170 wafers
Load lock purge system
Process gas NH3, DCS
Gas Type - Convention Gas System
Tubing material - Stainless steel
Tubing Finish - Electro-polish
Manual valve - Fujikin
Fitting Type - VCR/UJR
Air-Operated valve - Fujikin
Filter - Millipore
Regulator - Veriflo
MFC - Aera
Pressure transducer - Millipore or NAGANO
1996 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种用于半导体制造的扩散炉及配件。它能够进行气相外延（VPE）、选择性热氧化和氮化硅沉积，以及自动化LED转换过程。它具有易于使用的自动化装载机和集成的计算机控制系统，用于精确的温度控制和均匀的晶圆处理。TEL ALPHA-8S具有1250摄氏度的标准高温限值，以及一个多区域温度控制系统来调节多个区域的温度。先进的节能设计和最先进的热区材料保证了高热性能和更大的工艺均匀性。空气轴承主轴驱动和深点卡盘确保精确的基板定位和易用性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S还具有直观的人机界面（HMI）和一系列显示工具，包括双6.5英寸显示器和可缩放GUI，以便于监测工艺参数。其他功能包括用于管线和点热（LPH）处理应用的多热控制,以及用于防止因异常使用而导致沉积质量下降的远程维护。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S利用先进技术和专有软件最大限度地提高产品质量,同时为工艺优化和产量控制提供效率、成本节约和最佳性能。其低反应性的铝合金腔室和均匀的涡流和风冷屏蔽使其成为长期循环操作的理想选择。当与具有价格竞争力的TEL自动基板装载机结合使用时,ALPHA-8S为客户提供了用于节点平衡环境的集成控制系统,从而确保了最佳的流程性能。
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