二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE (N2LL) #197477 待售

TEL Alpha 8SE（N2LL）扩散炉是一种用于半导体加工的顶级工具，在温度、压力和流量等关键参数上提供精确控制。有了一个封闭的不锈钢腔室，Alpha 8SE能够在多种气氛下操作，以适应不同类型的加工。一种新设计的红外加热设备提供均匀的热分配，均匀的过程和快速的回收，以便快速接合。Alpha 8SE还通过使用独立的PID温度控制器和计算机控制系统提供高精度温度控制。专为全晶片加工而设计的Alpha 8SE具有一个内室,允许使用不同类型的设备和配方,并且易于更换以升级设备或用于不同配方。为了获得更大的灵活性,可以按特定的顺序设计定制的系统,并可以针对最大的灵活性和性能进行定制。为确保操作员安全,Alpha 8SE具有增强的保护系统,如内置防泡室和多轴运动监控系统以及平面可视监控系统。通过使用机器人加载单元（REX）确保了快速和精确的原位加载,该单元可以模拟各种晶圆大小并轻松处理易碎的基板。对于均匀处理，快速气体输送机提供更均匀的N2和Ar等气体流动，而集成的低质量气体阀则允许对气体流动进行高度控制。Alpha 8SE的设计还考虑了可访问性,允许轻松安装、操作和维护,并具有易于阅读的可视化窗口和内置远程接口,便于从远程计算机进行访问和操作。此外,此工具还具有可视化的警告资产、冗余温度传感器和双紧急关闭按钮,可实现最大的安全性和可靠性。总体而言，TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE（N2LL）扩散炉是为半导体加工提供精确控制的高性能工具，具有众多的安全特性。此模型具有一系列复杂的功能,为众多应用程序提供了强大而高效的扩散解决方桉。