二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNS #9016681 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-ZVFNS
已售出
ID: 9016681
晶圆大小: 8"
优质的: 2002
Diffusion furnace, 8", 2002 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVFNS是一种先进的扩散炉及配件,设计用于进行高质量、高精度的蚀刻工艺。TEL Alpha 8SE-ZVFNS具有多种特性和功能,是任何蚀刻工艺的理想选择。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVFNS配备了RF钟形罐,用于更大的蚀刻工艺要求和更高的性能。此特性除了具有较高的工艺精度外,还为所有类型的蚀刻工艺提供了卓越的沉积均匀性。Alpha 8SE-ZVFNS采用了先进的技术,如其多元素处理(MEP)设备,该设备为多个工艺和各种材料提供同时蚀刻操作。此外,使用浸没式离子源可以降低离子束动力学,提高均匀性。这就产生了更高质量的蚀刻特征,并改善了特性和更高分辨率的图像。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVFNS还设计了多种可控制的特性,用于精确的工艺。这包括先进的独立气体供应系统,该系统具有流量和压力监测功能,可准确生成化学物质并将其输入炉中。供气系统还有一个专用的排气出口和一个扩散过程气体入口,用于向炉子中精确输送气体。安全是TEL Alpha 8SE-ZVFNS的优先事项。该炉设有排放检测装置,用于监测空气质量。这台机器允许操作员监视和调整参数,以确保过程的安全环境。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVFNS还包含各种有关炉温、压力和其他参数的警报,确保操作员被告知任何潜在问题。除了安全功能外,Alpha 8SE-ZVFNS还提供各种可选和控制系统,以进一步定制和控制蚀刻工艺。其中包括工艺监视器、晶圆旋转系统、图形和输出报告、自动供气和机柜控制器以及许多允许用户完全定制蚀刻工艺以满足其需求的功能。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-ZVFNS结合了特性和先进技术,使其成为任何蚀刻工艺的理想选择。通过提高工艺精度、高分辨率图像和广泛的可自定义参数,该扩散炉使用户能够相对轻松地实现高质量、高精度的蚀刻工艺。
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