二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #116227 待售
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ID: 116227
VF LPCVD ASG furnace
SMIF Type: Asyst
SMIF indexer: 2
Cassette transfer: cassette transfer
Wafer transfer stage : 2 stage
Cassette stock: Stocker(21)
Boat process: one boat 2 batch process
Wafer transfer: FORK(5)
Process reactor: one reactor one system
Heater: Five zones
Boat position: cooling, process and loading position
TC position:
Paddle TC: Between outer and inner tube
Spike TC: on heater
Injector:
ASP: 6 injectors
ASG: 5 injectors
Process gas:
ASP: N2/SiH4/H2/0.7%AsH3/ClF3
ASG: N2/O2/TEOS/Teasat/ClF3
MFC: UNIT
Boat material:
ASP: SIC
ASG: Quartz
Boat slot:
ASP: 170
ASG: 129
Process tube: Quartz
Outer tube: Quartz
Inner tube: Quartz
CLF3 dry clean: Yes
PUMP: EDWARDS/EBARA
System controller: WAVES
Powered down.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是用于半导体器件生长的高科技扩散炉及配件。这种设备能够快速、准确地将半导体层增长到基板上，以满足现代电子制造的严格需求。TEL ALPHA-8SE装有一个先进的容器，装有先进的辐射加热装置。这种容器允许容器内气体的均匀加热，并极大地有助于为半导体创造最佳的生长环境。这一特征对于砷化的、磷化的等III-V材料的生长特别有用。除了先进的容器外，TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE实现了独特的、全自动的控制系统。该装置提供精确的温度控制以及工艺时间、气流和其他条件的控制。此外,该机器还具有控制生长环境的温度和组成的高级功能,允许对其进行全面定制,以满足任何特定生长过程的要求。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E还附有触摸屏界面，便于操作和数据采集。这允许用户在增长过程中准确监控和控制增长环境。图形显示通过在增长过程中提供各种参数的直观表示,进一步增强了工具的可用性。总之,ALPHA8 SE是一种极其先进的扩散炉及其附属资产.其先进的容器和全面的自动化能力允许精确控制增长环境，确保半导体的最佳增长。其触摸屏界面和图形显示进一步增强了用户体验，使操作员可以在成长过程中轻松监控和控制模型。
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