二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9047511 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE
已售出
ID: 9047511
AVAFGN Furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是制造半导体集成电路过程中使用的最先进的扩散炉及其相关配件。TEL ALPHA-8SE是一种最高工艺温度为1000 °C的单晶片间歇式扩散炉,具有低驻波等离子体增强CVD(化学气相沉积)工艺,具有优异的均匀性和器件性能。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE是一种封闭的圆柱形合金室,可在三种不同的模式下操作-热氧化、热硝化和化学气相沉积(CVD)。每种模式由包括气压、温度和流量在内的一组综合参数控制。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE有一个独特的特性,称为双角-循环过程控制(Dual Angle-Cycle Process Control),允许使用者在整个过程週期内在不同角度间互换,允许更均匀的晶片层性能。ALPHA-8SE既利用低温钼敏感器,又利用高温石英敏感器。Molybdenum sicceptor用于短过程循环,设计为极好的均匀性和低背景失真。高温石英敏感器用于较长的工艺周期,可以安全地适应高达1000 °C的温度。ALPHA-8 SE配备了多项安全功能,包括防止过热的自动关闭系统、检测水蒸气的湿度传感器和检测低过程压力的压力传感器。它还配备了先进的颗粒过滤和洗涤系统,以实现卓越的环保。为保证最佳性能和可靠性,ALPHA 8 SE配备了包括两个局部化工艺温度控制器、两个低温鼓风机控制器、两个鼓风机速度控制器在内的综合温度控制器系统。这允许用户独立监控和控制炉子的不同区域。该炉还配备了两个卤素灯,提供卓越的均匀性和优异的颗粒性能。TEL ALPHA 8 SE是针对半导体处理需求的综合解决方桉,为用户提供卓越的性能、可靠性和安全性。其独特的特性和配件为用户提供卓越的热处理和CVD性能,确保出色的设备性能和统一性。
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