二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9095367 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i
已售出
ID: 9095367
晶圆大小: 12"
Vertical oxide furnaces, 12".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种主要用于半导体工业的扩散炉和附件,用于通过扩散过程处理晶圆和其他材料。TEL ALPHA-303I是一种紧凑的设备,在高温和各种晶圆直径下执行快速热处理(RTP)。它是一个高效和高效的系统,能够同时运行四个不同的进程。可以在TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I上运行的不同过程如下:氧化、退火、快速热处理和扩散。TEL ALPHA 303 I配备了一个控制装置,称为模煳逻辑控制单元,使其能够准确快速地响应各种过程参数。该装置允许操作员轻松设置和控制温度剖面、电源电压和炉膛压力。此外,控制设备可以在发生错误时向操作员发出警报。ALPHA-303I有一个可容纳多达24个4"或16个6"晶片的大型加工室。腔室壁由石墨制成,腔室由氧化铝包覆的屏蔽层进一步保护,有助于改善隔热。该炉还配备了机器人穿梭机,可以将晶片从装载站转移到反应堆,反之亦然。操作时,炉膛加热至1500 °C的最高温度,温度均匀度小于± 10°C。腔室压力不断监测,可变化至最大3-7Torr,精确度为0.1Torr。扩散炉还配备了温度剖面采样工具,通过记录温度剖面每秒20倍来限制炉的温度范围。ALPHA 303 I专为安全、高效、准确和高效的晶圆处理而设计。它配有排气口,可以连接到适当的通风口资产,以进行有效的排放控制。该模型还具有闭环安全特性,可主动监控炉子及其排气设备,确保持续的安全和性能。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是一种高效生产的扩散炉,非常适合半导体加工应用。它能够以均匀性和准确性迅速达到高温,并配备了多种安全功能,以确保适当的操作和排放控制。
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