二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 303i #9099381 待售
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已售出
ID: 9099381
Vertical diffusion furnace, 12"
Process: TEOS
(1) Heater element Model: Mid-Temp VMM-56-002 5zone/500-1000
Process Condition: LP
Maximum Operating Temperature: 1000°C
N2 Load Lock: Yes
Wafer Type: 300 SEMI STD-Notch
Qty. of Production Wafers: 117 slots Ladder
Boat Operation: (2) Boat Type / (2) Boat Operation
Software Version: 2.06
Furnace:
(1) Loading Area Light: White (LED)
Force Air Cooling system: None
Side Maintenance: None
(1) O2 Density control: NGK SH-304 STANDARD
(1) N2 Boat shower wafer cooling: installed
(1) Furnace Temperature Controller: M560A
Wafer/Carrier Handling:
Carrier Type: FOUP (25) slots (STD)
Carrier Stage Capacity: 16
(1) WTU Type: 1+4 Edge Grip
WTU alignment: None
WTU Teaching method: None
Gas Distribution:
IGS Maker / Type: AREA
IGS MFC Maker / Type: AREA (Gas Panel)
IGS Press Transducer Maker / Type: NAGANO
Exhaust:
Vacuum Gage - 2 torr: None
(1) Vacuum Gage - 10 torr: MYKROLIS CMLH-31-150S06
Vacuum Gage - 100 torr- None
(2) Vacuum Gage - 1000 torr: MYKROLIS CMLH-11-150S06
(1) Main Valve: MKS-99C1274
(1) Pump Maker/Model: EDWARDS IH-1800
Low vacuum valve: None
(1) Trap: Disk Trap
(1) Vacuum Pressure Controller: N2-ballast
Reactor:
(2) Process Tube (LP): Outer: ID448xH1360, Inner: Straight H1340
(2) Outer/Inner Tube Material (LP): Quartz
Inner Tube Type (AP): None
(1) Inner T/C: Outer Tube interior wall type
(2) Boat Material/Type: Quartz 117 slots Ladder (8mm pitch)
(1) Boat Rotation: installed
(1) Pedestal Materiel/Type: Quartz Sand blast OD300 H350 1fins
(1) Auto Shutter: installed
Power Distribution:
Voltage, 3 Phase: 208VAC
Voltage, Single Phase: 120VAC
Frequency: 60Hz
User Interface:
(2) Operation Panel: Front/rear Gas Box and Operation Panel Installed
(2) Indicator Type: Superset
Operation software type: Linux
(4) Gas Leak Detector Material/Type: Riken TEOS/CLF3
Dry pumps: not included.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303i是先进半导体工艺的领先扩散炉及配件。TEL ALPHA-303I是一种多用途、高速、高质量的扩散炉,具有可靠的性能、可调的温度控制和广泛的功能,可实现最大的工艺重复性。TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I是一种具有石英侧壁和455L热区容量的单室炉。这个扩散炉有一个低热质量的辐射加热设备，能够快速的温度变化。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 303 I亦设有三区烘烤系统，以最佳控制製程室内的温度均匀性。Alpha 303i还包括一个垂直提升样品装载单元，使晶圆船能够自动转移到加工室。晶圆船可以自动升高到两个不同的温度，以优化冷却过程。此外，工艺室的温度可以根据工艺的需要进行预置。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-303 I机配备了全方位的配件，包括闭环冷却工具。这种资产通过利用传感器来测量和控制工艺气体的温度，有助于保持工艺室内所需的温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 303i还采用了一系列过程控制措施，如集成的Auto配方发生器，用于快速、可靠的配方和先进的参数设置。它还能够对各种工艺参数进行过程监测，包括温度、流速、压力和总气流。ALPHA 303 I旨在实现极快和精确的热循环，运行之间的恢复时间较短。TOKYO ELECTRON ALPHA-303I模型具有高精度的温度控制，具有极好的重复性和重复性。TEL Alpha 303i还具有一系列安全功能,包括水冷真空泵,该真空泵能够快速将任何工艺气体或空气从工艺室中排出。这样可确保操作过程中的最大安全性。TEL ALPHA-303 I设备还配备了备用气体供应系统，以确保工艺室始终充分供应适当的工艺气体。ALPHA-303 I是一种可靠且用途广泛的扩散炉及配件，为先进的半导体工艺提供卓越的性能和可重复性。其安全特性的范围加上先进的温度控制措施，使其成为一个强大而安全的解决方桉，以满足各种工艺需求。
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