二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805 #149441 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 805
已售出
ID: 149441
晶圆大小: 8"
Furnaces LP-TEOS, 8".
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 805是一种扩散炉及其附件,为高度先进的半导体制造工艺而创建。这一先进技术是为实现最高温度精度而设计的,温度均匀度±为1°C。烤箱还从炉膛的顶部和底部供电,以消除热点,使其非常适合所有类型的制造。TEL Alpha 805还配有用于精确温度控制的Silvertron PID,以及在单个组件发生故障时的过温保护和冗余安全设备。它还具有易于打开的盖子,使其易于进入腔室,减少与半导体制造相关的时间和能源成本。TOKYO ELECTRON ALPHA 805还附有Transformer型气体输送系统,根据需要提供受控气流。集成的氢化物/VHP剥离装置和锁定/解锁子系统提供了额外的便利和灵活性。该炉还有一个真空机,允许改进样品转移和更快的过程时间。Alpha 805是一种用途广泛、功能齐全的机械,非常适合任何半导体应用。它具有坚固的设计,碳化硅和不锈钢元素帮助保持炉子清洁和不受任何腐蚀。该设备还具有可移动托盘,便于样品装卸。总体而言,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 805是一种非常先进的扩散炉,非常适合所有半导体晶圆厂工艺。其强大的设计和先进的特点使其非常适合任何半导体应用。该炉温度均匀度± 1°C,适用于各类制造。它还具有真空工具和气体输送资产,能够更快、更精确的过程。其锁定和解锁子系统提供了更高的安全性和便利性,非常适合所有形式的半导体制造。
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