二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC #9104944 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SC
已售出
ID: 9104944
晶圆大小: 8"
优质的: 1994
TEOS Furnace, 8" 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC是一种扩散炉及辅助产品。它旨在满足先进半导体制造工艺的需求,并为研发应用开发。TEL Alpha 808SC被设计成市场上最快、最精确的熔炉。它具有8英寸超高速多区炉,允许在室内所有加热和冷却区进行高精度温度控制。该设备实现的精确温度控制可用于沉积、扩散、退火、氧化等热处理。此外,该腔室还配备了特殊的石墨敏感器,提供了工艺的卓越均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SC的压力范围为1-100 Torr,温度范围为30-1400 °C。该系统配有晶圆传输单元,可将晶圆精确装卸到炉膛中。它还设计了广泛的保护措施,如对敏感剂的温度过高保护、氧化物保护器和各种气体净化系统。TEL ALPHA 808 SC还附有直观的控制机器。它采用符合要求的方法设计,用于工具监控、过程控制和过程诊断。该资产提供实时模型信息,允许对流程流进行完全控制,以确保最佳实现流程结果。此外,控制设备非常方便用户。ALPHA 808 SC小巧节省空间,非常适合各种中小型实验室和研究中心。它还包括一个维护和诊断系统,允许快速、方便地访问操作状态信息。总之,TOKYO ELECTRON ALPHA 808SC是一种功能强大、准确、用途广泛的扩散炉和辅助解决方桉,非常适合任何现代半导体制造设施。
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