二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN #9097244 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN
已售出
ID: 9097244
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Nitride furnace, 8", 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN是半导体器件制造的扩散炉及配件。TEL Alpha 808SCN对半导体器件制造工艺提供了卓越的精度和控制。适用于多种应用,如绝缘体硅(SOI)和MEMS器件。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SCN设计为水平热壁扩散炉,允许广泛的过程温度和循环时间。它配备了一个本土开发的最先进的射频动力、高纯度石英敏感器,可以减少射频场的干扰。这一特性,加上强大的磁感器温度控制技术,使得晶片的处理能够快速准确。先进的扩散技术允许单室多层处理,高长宽比处理。Alpha 808SCN还配备了先进的温度控制系统,为整个腔室提供精细的温度控制,以达到最大精度。温度剖面可以从反应堆调整,允许对整个区域进行精确的温度控制。此外,还配备了一个综合气流系统,以控制反应环境和优化过程。TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 808SCN还具有方便易用的软件和操作工具。该软件使扩散炉能够从偏远地区运行,并提供自动化的电气性能测试和对过程的在线监控。该软件还可以集成到TELware,一个用于监控和操作各种TEL扩散炉的软件平台。TEL Alpha 808SCN被认为是半导体工业中最好的扩散炉和配件之一,因为它提供高精度性能和无与伦比的易用性。借助其精密的软件,炉子可以用一个按钮操作,使操作比以往更快、更容易。此外,先进的温度和反应控制系统保证无论采用何种工艺都能产生准确可靠的半导体器件。
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