二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD #9038744 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 808SD
已售出
ID: 9038744
Furnaces, 8" Dry oxide Powered down 1994 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD是一种扩散炉和附件,为特殊的热处理能力而设计。它配备了多种功能,旨在最大限度地提高工艺输出,提高可靠性。这包括一个直观的用户界面,实现了简单的操作和维护,以及水平管布局,为水平和垂直应用程序提供了出色的温度均匀性。该炉还具有"高级均匀性解决方桉",可实现高均匀性过程,减少温度均匀性的运行时间,并提供卓越的温度稳定性。它还包括一个喷嘴监视器,以防止在热过程中可能发生的任何损坏。TEL Alpha 808SD扩散炉设计具有多种安全特性,如隔热以减少热量损失和开门概念以尽量减少与热区的接触。它还具有一个独立的真空烘烤室和两个质量流量控制器,确保样品的正确处理。TOKYO ELECTRON ALPHA 808 SD扩散炉是寻求卓越热处理能力的用户的理想选择。它具有1200-1300℃的高温和600- 700℃的低温,以及0.3-300 Torr的广泛动态范围。它还具有快速冷空气冷却功能,可以减少过程时间,同时保持过程的均匀性。Alpha还具有最大300 mm的晶圆直径容量,一次最多可处理8个晶圆。Alpha系统还配备了先进的远程监测系统和模拟数据记录界面,使用户能够跟踪热过程的进展和响应。该炉还具有坚固的设计,坚固耐用的结构和坚固耐用的部件。TOKYO ELECTRON ALPHA 808SD扩散炉具有直观的用户界面和卓越的功能,是从热处理中获得最大生产力的完美工具。无论是高温过程、低温过程,还是广泛的动态范围过程,Alpha都能确保卓越的性能和可靠性。
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