二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S / 808SC #111907 待售

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ID: 111907
晶圆大小: 8"
Furnace, Pad / Liner / ISO, 8" Gases: N2, NH3, SiH2Cl2 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ 808SC是一种最先进的扩散炉和附件,设计用于将薄膜沉积到半导体晶片上。该设备能够在直径不超过8英寸的晶片上提供卓越的均匀性和均匀温度。TEL Alpha 8S/ 808SC采用先进的8区浸入式石英管扩散炉,最高温度为1,200 °C。它还配备了先进的清洁系统,旨在在沉积前从晶片中清除所有类型的污染物。该装置采用各向同性和各向异性蚀刻技术的组合,以去除颗粒、金属和有机污染物。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S/ 808SC还包括多种配件,如两个便于晶圆加载的加载机器人,一个确保精确温度控制的温度传感器端口(TSP),以及一个内置的质量流控制器(MFC)来管理和精确控制气体流动。该机还包括一个负载锁定工具,以防止污染和保存过程气体。Alpha 8S/ 808SC专为精细的沉积工艺而设计,能够沉积厚度在50 nm至500 nm之间的薄膜。它是为低温、低压沉积而设计的,因此能够在不影响精度的情况下沉积薄膜。该资产还被评为高生产率,适合批量生产。此外,TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8S/ 808SC还配备了警告/警报功能和图形用户界面(GUI),以方便高效操作并提供有关工艺参数的实时信息。此用户友好的GUI还有助于确保模型安全高效地运行。总体而言,TEL Alpha 8S/ 808SC是一种先进的扩散炉和附件,其设计提供优于其他系统的性能和明显的优势。先进的8区石英管炉、先进的清洗设备、温度传感器口、质量流量控制器、负载锁定系统、用户友好的GUI确保了可靠一致的沉积效果,提高了生产效率。
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