二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z #124484 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S-Z
已售出
ID: 124484
晶圆大小: 8"
优质的: 2001
LHP-FTP TS4000Z Gate SiN Furnace, 8" 2001 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-Z是一种高精度扩散炉及配件,可用于多种金属、半导体和陶瓷膜的沉积。它是研究和生产应用的绝佳选择。TEL ALPHA 8SZ是一种单晶片热处理设备,最高工作温度可达1200 °C。它还具有仅31秒的超快速加热/冷却周期时间。这使得热氧化和沉积等过程的反应时间迅速。该系统还能够在晶圆表面实现高度的沉积均匀性。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z利用淋浴板技术,允许位移型水平沉积。这使使用者有能力以高度的精确度精确控制影片的均匀性。此外,该单元还具有独特的编程胶片控制功能,可以快速准确地调整胶片特性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S-Z具有低泄漏差压设计,能够高效疏散和回填腔室。该机还配备了远程联锁工具,以及环境压力控制资产,以提供卓越的可靠性和性能。此外,它还包括一个"时空"节气门,确保精确的气流控制,以提高工艺的均匀性。ALPHA 8 S-Z配备了高性能IO-Link软件模型,便于数据采集和控制。它还包括各种配件,包括玻璃板、石英船和载具,以提供任何工艺所需的确切参数。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S Z是各种热处理应用的理想解决方桉。凭借其卓越的精确度和可靠性,可以帮助优化生产时间,同时还能提供高度的质量控制。该设备使操作员能够精确控制薄膜特性,提高工艺的均匀性和吞吐量。
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