二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #101454 待售

看起来这件物品已经卖了。检查下面的类似产品或与我们联系,我们经验丰富的团队将为您找到它。

ID: 101454
晶圆大小: 8"
优质的: 1998
LPCVD furnace, 8", 1998 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是为制造业工业应用而设计的多功能基板加热系统。TEL ALPHA-8S包含两个独立的区域:一个用于形成基板的加工室和一个用于高速冷却的冷却室。该工艺室采用高密度加热元件,用于快速、均匀的基板加热。温度范围为50-1200 °C,是通过钼-的热电偶可靠地获得的,确保整个过程的精确温度控制。温度可以通过触摸面板或可编程逻辑控制器(PLC)控制。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S以SC5石英敏感器构建,最大基板尺寸300 x 300 mm。这确保了良好的表面均匀性和均匀的热扩散,以改善基板的细节,同时有效地防止了热应力造成的损坏和变形。冷却室配备了先进的冷却技术,提供快速的冷却速率,即使是大基板。TEL ALPHA 8 S扩散炉可用于多种行业,包括研究、晶圆和材料加工以及电气设备。此外,还可选配燃气箱、排气罩和冷水系统等附件,以提供高效的温度调节以及气体、烟雾和热量的精确分布。总体而言,ALPHA-8S扩散炉是一种可靠、通用的工业加热系统.它提供精确的温度控制、均匀的热扩散和快速的冷却速率,使其成为满足各种加工需求的理想解决方桉。
还没有评论