二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #122684 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种扩散炉及配件，用于半导体及相关产品的制造工艺。这种炉是专门为硅、氙等材料的先进退火而设计的。该产品是使半导体制造商能够满足不断增长的需求的关键要素,以提高其消费者的生产产量和更好的设备性能。TEL ALPHA-8S是一个多区炉，具有大量的独立加热元件，最多可达8个。每个元素都能达到高达2000 °C的温度。它还拥有非常大的供暖能力，高达1000kW。有了这种功率，炉子就能快速达到高温。这种高功率输出还伴随着只有几kW的低功耗。由于其独立的温度控制和先进的热管理系统，TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S可以用于外延沉积、扩散、高温退火和掺杂等过程。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8 S还具有若干安全措施，允许过程完整性和免受潜在危害。其中一个是内置警报系统，如果炉子内的任何材料达到临界温度，就会向用户发出警报。炉子还配有冷却系统，确保炉子温度保持在安全限度内，即使在高压下也是如此。ALPHA 8 S能够通过使用压力传感器来控制腔内的压力，使整个过程更加高效。此外，阿尔法8S还可用于其他几个过程，包括快速热处理、氮化和氧化。该炉还与其他几种设备兼容，如光掩模对准器、晶圆检测系统和计量系统。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一款可靠多用途的设备，可供那些希望在半导体行业生产高质量设备的各种规模的公司使用。