二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #180604 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种先进的高温扩散炉和集成配件。该炉设计用于半导体、MEMS等微电子工业样品的精密PECVD处理。它在可靠、易于操作的平台上运行,能够处理高达1250°C的温度。TEL ALPHA-8S以先进的高温扩散性能和无与伦比的灵活性给人留下深刻印象。直观的图形用户界面使用户能够在记录时间内自定义高级流程参数或设置极端配方。双射频源单元也具有很高的适应性，可以轻松调整以支持非晶硅沉积等先进工艺。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S炉能处理多种晶圆和基材，非常适合原型制作和生产。虽然其他熔炉可能需要大量维护,但Alpha 8S成本低,几乎不需要预防性维护。该工艺室具有先进的冷却功能，使其能够安全、方便地处理持续较高的工艺温度。TEL ALPHA 8 S配备了优化运行所需的所有配件，如近红外石英加热器、高效冷却系统、先进电源系统等。所有这些组件都集成在一起,以实现最佳性能和便利性。集成组件允许快速、方便地访问,这意味着最短的设置时间和更高的吞吐量。TEL Alpha 8S还具有极端温度传感器、O2和H2气体探测器、压力传感器等先进安全系统。这些功能使操作员能够快速识别任何潜在问题,从而能够快速干预和改进过程控制。综上所述，TOKYO ELECTRON ALPHA 8S是一种高性能、安全可靠的扩散炉，非常适合半导体、MEMS等微电子行业的原型制作和生产。美观、处理能力、先进但操作简单的平台，使其非常适合任何生产环境。