二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8S #62757 待售

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ID: 62757
晶圆大小: 8"
优质的: 1997
Diffusion doped poly furnaces, 8" LPCVD Phosphorus Doped Poly process configuration 150 production wafer load size TS4000Z system controller 440 V power requirement Boat rotation Tape heater and associated control Remote gas detection Exhaust monitors Tylan General throttle control Ulvac GP-2ARY vacuum monitor Gas System UHP N2 2x N2 10%Ph3/He SiH4 ClF3 1997 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S扩散炉是一种先进的工具,旨在产生超清洁表面,为客户提供多种功能和技术。先进的均匀性系统允许严格控制加工温度,而强大的热源可确保快速高效地加热扩散层。借助TEL ALPHA-8S,客户可以利用最新的硅和复合材料技术。TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S扩散炉具有许多先进的特点.例如,8S装有高性能计算机控制的热压机,用于基板的精确和均匀退火。压力机包括一个自动高度跟踪热头,在加热过程中保持准确的高度和位置在基板上。该炉还拥有一个快速回收加热系统,可以快速准确地将温度提高到所需的温度点。这可以通过减少加热时间和保持跨基板的紧密均匀性来帮助降低生产成本。TEL ALPHA-8 S还包括用于预编程和优化加热器设置的高级软件,以及允许您即时进行更改的用户友好界面。这有助于减少停机时间和周期时间,同时也有助于确保最佳性能。所包含的智能真空模拟软件还使用户能够准确模拟沉积结果,使他们能够更好地为沉积过程做好准备。除了令人印象深刻的特性外,ALPHA 8 S还具有适应性,让客户可以从各种各样的外围设备中进行选择,例如石英管散热器、袖珍皮带和耐火层处理的多种工具。该炉还与许多最新的TEL加工材料兼容,为客户提供了最大限度发挥能力的机会。总体而言,TOKYO ELECTRON ALPHA-8S扩散炉是一种强大而可靠的工具,有助于在降低成本的同时实现性能最大化。它效率高,用途广泛,可适应客户的特定需求,并提供多种功能和技术。ALPHA-8 S具有众多优点,是寻找可靠扩散炉的理想选择。
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