二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E #9275714 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-E是一种用于单晶片和多晶片应用的垂直批处理热处理设备。它具有元件温度监测系统和闭环温压控制单元。本机设计为提供更高的温度均匀性和精度.其设计还提供了宽广的温度范围和精确的温度控制，使其适用于一系列早期至后期的半导体工艺。TEL Alpha 8SE-E是一种单晶片、多批次扩散炉，能够同时进行扩散和杂质退火。其温度范围在200°C至1050°C之间，使其成为包括扩散、氧化、氮化、氮化和退火等多种过程的理想选择。该炉具有± 1°C或更好的极好的温度均匀性，允许晶圆的均匀掺杂和热处理。该炉有一个内置顶部装载机和气体流动工具，使用户能够控制工作大气的气体流动。它由低热质量、化学惰性材料制成，允许晶片快速热处理。它还配备了多个提升电机以及一个底部装载机，以方便炉子的装卸。晶片装载在晶片船上，并对齐在六角形的支架上。该资产配备TSS（热电偶传感器模型），以最高精度测量晶片温度。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-E也有一个PID（比例积分导数）控制设备，用于精确的压力和温度控制，即使在高温操作。这增加了流程的多功能性和准确性。为了安全起见，系统配备了高温警报。它的外部装有安全功能，如密码锁定的温度控制单元，以及可访问的紧急停止开关。Alpha 8SE-E是一种用途广泛且精确的扩散炉,可为用户提供更高的温度均匀性、精度和控制能力。它具有多种功能，非常适合各种半导体工艺和应用。