二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE-Z #115121 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE-Z是一种扩散炉，主要用于制造和操纵固态装置。这种特别设计的炉用于在高温和高压下处理和控制材料，如半导体。TEL ALPHA 8SEZ的温度范围高达2000 °C，压力范围高达10 torr。这种扩散炉的设计采用不锈钢、钼和碳化硅制成的样品/晶片卡盘，都是以热稳定性着称的材料，允许精确的温度控制。该型号扩散炉还包括特种配件，如可精确降低炉温的专用冷却设备。该炉本身能够快速、准确地适应各种程序，从而能够准确地剖析热处理参数。使用PID温度控制器不断监控和维护温度。可以对温度剖面进行编程,在多个段（包括坡道和浸泡）中对两个过程进行编程,从而实现可重复和精确的热过程。TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE-Z还包括一个有源盒式升降机系统，允许样品/晶片快速方便地装卸。它的设计还允许均匀的基板表面温度，这对于在半导体工业中实现精确和精确的热处理至关重要。该炉采用直接驱动的自冷电动机，能够不间断、精确地控制对感应器的电源。阿尔法8SE-Z也因其设计而极为安全。门上有一个自动安全锁，而过滤系统则确保有害气体如氟和氯不会排放。该炉还配备了智能程序监视器，在该监视器中对设备状况进行主动监控，以检测操作过程中可能出现的任何问题。此外,每台发电机都可以通过自己的面板进行控制,从而实现快速高效的机器调整。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE Z是一种最先进的扩散炉，为加工和控制材料提供高度的精度和可靠性。其温度范围、压力范围和安全特性使其成为半导体行业广泛应用的理想工具。