二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS #9003694 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZABFNS是为先进半导体晶片的高通量退火而设计的扩散炉及附件封装。它具有8舱垂直炉、基板传输设备和一套控制软件。TEL Alpha 8SE ZABFNS上的8舱垂直炉是一种高温精密退火装置，额定温度范围为600°C至1300 °C。它包括双级卤素灯，容量可在七秒内将温度提升至200 °C，使退火时间仅为6分钟。它还具有许多气流控制系统，从七点压力校准调节器到扩散细胞质量流控制器，广泛用于等离子体增强退火。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE ZABFNS的底物传输系统允许用户在高速下达到精确的结果。该单元包括一个创新的线性送货机，由两个主要模块组成：装载机和卸载机。通过允许在处理步骤之间快速加载和卸载8英寸晶片,加载程序可提供即时操作效率和灵活性。卸载器借助独特的倾斜卡盘传输工具和全自动晶圆车提高速度和吞吐量。Alpha 8SE ZABFNS的控制软件旨在通过允许用户远程监控流程数据、访问资产信息以及允许手动控制模型操作来最大限度地提高用户效率和准确性。软件提供了高度高级的分析和报告功能,包括用于创建、保存和执行标准流程运行的集成配方数据库。总之，TEL/TOKYO ELECTRON Alpha 8SE ZABFNS是针对半导体晶片高通量退火优化的先进可靠扩散炉设备。它具有8舱垂直炉、基板传输系统和强大的控制软件，以实现最高的效率和精度。