二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #62753 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一个先进的扩散炉和附件包，旨在提供卓越的制造性能。该设备包括一个炉体、用于真空控制的波纹管泵、用于加工基板的载荷锁定室以及各种其他自动化功能。TEL ALPHA-8SE专为半导体、MEMS和光电器件制造等高级热处理应用而设计。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE炉具有高温均匀性和优良的温度精度,可实现精确的加工时间和对温度分布的卓越控制。采用分离温度控制机构和斜坡温度控制单元相结合的温度控制系统，可以实现温度控制。这确保了在所有温度范围内的高精度。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA-8SE的炉体由嵌入式多区加热机组成，该机允许在各区加热基板，细分为均匀冷却和加热单元。这使得即使基板尺寸和形状因高温差而改变，温度控制也更加均匀。内炉采用耐高温不锈钢和钛合金部件制成，保证了高温环境下的耐久性。为确保安全、均匀的工艺环境，TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE配备了一系列专有的自动化功能，如导热监测器和有源污染物控制。热导率监测仪通过根据需要调节炉膛内外壁的温度，有助于确保基板温度均匀。主动污染物控制工具在加工室内保持清洁和低水平的工艺产生的微粒，确保安全、稳定的工艺条件。除了这些自动化功能外,TEL ALPHA 8 SE还提供各种有用的附件选项。这些项目包括工具处理设备和晶圆传输系统，这两者都有助于简化基板处理。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE还包括一个粒子分析/过滤资产，用于收集和分析过程粒子，使操作员能够保持精确的过程控制。总体而言,ALPHA-8 SE是一种高度先进的扩散炉和附件封装,提供卓越的制造性能和高效的过程自动化功能。该模型非常适合传统的半导体制造和渐进式膜及光电器件制造过程。