二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9079967 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种用于半导体器件制造工艺的扩散炉及配件。它以可靠的制造和可靠的性能而闻名。TEL ALPHA-8SE炉提供一系列功能和选项,以满足制造商的各种需求。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE体积小巧，能耗低，是中小型生产设施的理想选择。TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E扩散炉有两种不同的工艺室,阳极和阴极.两个腔室均由水循环设备冷却，并进行绝缘，以提供室内最佳的温度稳定性和均匀性。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8S-E的温度范围在25-1150°C之间，可控斜坡速率高达5°C/sec。温度范围非常适合于大多数输入材料和基材材料，包括硅、砷化氙和她的。ALPHA 8 S E扩散炉还具有均匀性补偿III （UCIII）系统,该系统可根据炉膛内的温度均匀性变化进行调整。UCIII与蒸气输送装置配合工作，以确保整个腔室的蒸气输送一致。这台机器还有助于最大限度地减少在较长时间的过程中底物烧坏的机会。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE还配备了化学气相沉积（CVD）附件，使所需材料的薄膜能够沉积在基板上。此过程用于制造电气触点等组件。它的工作原理是将化学蒸气引入室内，加热后在基板表面形成沉积层。该工具通过计算机控制的过程控制器进行控制，该控制器控制化学气流和底物温度。TEL ALPHA 8S-E扩散炉还具有先进的安全部件.它有一个用于监测腔室压力的压力传感器和一个气体关闭阀，在紧急情况下可以远程操作。该炉还有一个紧急关闭开关，可以手动操作。此外，ALPHA 8S-E有一个内置资产来监测炉子的性能，并与控制单元沟通任何问题。总体而言，TEL ALPHA 8 SE是一种可靠高效的扩散炉和附件。它为安全可靠的操作提供高级功能和组件,是中小型生产设施的理想选择。