二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9083654 待售

TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种最先进的低温低压半导体扩散炉及配件。这种尖端设备的设计是为了提供准确、可重现的沉积速率，并以监测和控制关键工艺参数为后盾。TEL ALPHA-8SE具有高达1.33 Pa的宽工作压力和200 °C的最大工作压力,可实现和平、温度控制的扩散过程,而不会对设备结构产生不利影响。它由不同的部件组成，即加热室、感光器（炉底）和温度控制单元。扩散炉的加热室由不锈钢构成，并配有用于光学接触的石英窗。设计中包括石墨敏感器以提供均匀的热量分布。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE还具有双边晶片卡盘，它提供了一个宽广的支撑区域，以便于处理易碎晶片。温度控制装置采用单区和多区杯结构，可在炉内不同位置精确控制温度。TEL ALPHA 8 S E进一步配备了一个先进的安全系统，用于检测因故障引起的温度偏差，从而确保安全运行。ALPHA-8SE扩散炉还具有目标温度、压力和总压力范围等沉积过程参数的全数字控制功能。控制器可确保目标参数保持在每个处理步骤所需的范围内,从而提高结果的一致性。此外,流程控制单元还包括数据采集和事件日志记录,使用户可以轻松查看流程参数。ALPHA 8 S E扩散炉及附件耐用，提供优异的效果，非常适合各种半导体制造、研究和一般实验室应用。该机由优质材料和部件打造而成，促进使用寿命长、运行可靠。ALPHA 8 SE还配备了门阀和排气法兰控制等多种附加功能，以确保根据客户要求实现最大程度的定制。