二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha 8SE #9118909 待售
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已售出
ID: 9118909
优质的: 2004
Diffusion furnace
VAC Pump
Chiller
Vertical furnace
TEL Heater remove / install fixture
Power box
Furnace RCU
Heater VMU
Carrier: 138 wafer slots
2004 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE是一种专门用于半导体加工的扩散炉及附件包装。该扩散炉利用先进的控制和监测系统,在半导体加工过程中精确维持工作温度和腔室压力。TEL ALPHA-8SE设计为在两区加热室中运行,提供均匀的热特性和优异的性能。真空室由304不锈钢製造,提供350毫米的曝光室。TOKYO ELECTRON ALPHA-8 SE使用氮气/氙气/氢气基大气来减少半导体材料的成核和碎裂,确保质量结果。扩散过程由随附的弥漫性Reticle图像监控系统监控,实时测量性能。该系统对硅晶片在曝光时的薄膜性质提供精确分析,使TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 S E成为半导体加工最精确的设备之一。TEL/TOKYO ELECTRON ALPHA 8 SE具有热控制系统,可编程以允许手动控制或完全自动化。温度可以从0-1100 °C精确调节,提供受控的热通量和扩散速率,以实现高效、一致的性能。提供了一个真空视图端口窗口,用于监控过程。TOKYO ELECTRON ALPHA 8SE包括几个功能,以确保安全、一致的操作,包括简化维护和清理组件。其中包括一个由不锈钢制成的节气门,以保护阀门免受高温暴露和氧化。TEL ALPHA-8 SE还提供可选的洗涤器,以减少进入炉子的污染物数量。TEL ALPHA 8S-E是一种可靠、精密设计的扩散炉,对于先进的半导体封装至关重要。将自动化、先进的温度控制和监控相结合,ALPHA-8 SE产生一致的结果,并具有优异的质量.
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