二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615 #173224 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是一种垂直扩散炉，用于包括外延硅和复合半导体在内的多种类型的集成电路。它旨在提供最大的效率和灵活性，以实现最佳的热处理性能。TEL VDF 615采用基础集成炉和先进工艺控制等先进技术设计。该炉提供更精确和可重复的温度剖面，使可靠的热处理与更低的能耗。基础集成炉不需要外部加热模块，使其更加紧凑和经济。它也使晶圆传输更有效率。先进的过程控制提供了更准确的过程控制和改进的可重复性,从而提高了产量。TOKYO ELECTRON VDF 615还具有高性能加热器，具有可靠的金属分离器元件，提供更加均匀稳定的加热过程。氧化材料还有一种用于精确控制温度的特殊氧化模式。此外，该炉还具有热冷墙、脱气和氮气大气控制等多种特点，可控制大气。VDF 615还包括一套增强用户体验的精致配件。这些附件包括晶片抛光和清洁系统、晶片曝光和拆装系统、晶片支持系统以及区域控制系统,通过允许在整个过程的不同步骤中进行更灵活的温度控制来提高产量。TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615是任何需要高温和均匀热性能的半导体工艺的绝佳解决方桉。其先进的技术和通用的配件使其成为最好的扩散炉之一。其紧凑经济的设计提供了过程优化的灵活性，使制造商和集成商能够实现其集成电路的最高产量和性能。