二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #168017 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
已售出
ID: 168017
Furnace, F-Poly.
TEL VFD 615S是为满足研究和制造应用的需要而设计的扩散炉及配件。它是一种风冷垂直连续带式炉,具有变速、顶部和底部的热区,提供均匀的热区分布。上下热区可独立调节,催化氧化特性允许精确温度控制。这允许精确的温度控制和其他工艺参数的精确控制。VFD615S采用5.4升体积的不锈钢腔室、两个用于密封腔室的水平密封带以及两个顶部和底部的热区部分,以便进行精确的热区控制。它还具有集成的丝网印刷玻璃基板加热区和坚固的催化剂氧化区,确保温度分布均匀。TOKYO ELECTRON VFD 615S还带有一个可编程逻辑控制器(PLC),它提供了灵活性和增长参数的精确调节。它配备了具有单点校准的数据采集系统(DAS),提供对均匀温度分布的精确控制。变频驱动器允许精确的速度控制,以帮助优化过程重复性和周期时间。该VFD615S设计用于允许或禁用热区操作的过程监控。它通过两个独立的交替操作的双方向水平密封带提供对温度、气流、电池生长和去除的精确控制,从而在制造应用中提供灵活性。集成的玻璃基板传递系统和迭加对准系统使其非常适合实现精确的基板对准和对热效应的严格控制。此外,VFD615S还配备了一个开放的架构,适用于控制多达四条供气管道。隔热室和风扇冷却的内部能耗最小化,二氧化碳排放量最小化,并有助于降低运营成本。最后,它通过兼容的检修门和先进的监控系统提供了集成到自动化生产线中的功能。
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