二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S #176607 待售

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TEL / TOKYO ELECTRON VDF-615S
已售出
ID: 176607
Diffusion furnace.
TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615S是一种扩散炉和附件,设计用于生产高度可靠的集成电路设备。这种最先进的设备能够高效地进行快速的热氧化和加工。该炉提供了极好的热均匀性,最小的温度梯度,以及对温度变化非常快速的反应。TEL VDF 615S是一个先进的垂直热处理室,具有五个不同的固定式加热器,加上一个可选的可移动盖系统。加热器采用感应耦合等离子体(ICP)作为热源,因此可以实现可靠和准确的温度控制。此外,由于ICP腔室设计为提供定向辐射,晶片的温度可以在多晶硅层氧化过程中精确控制,这是晶片暴露于高温时发生的过程。该炉采用了一种纤薄、高度均匀的热屏障,能够在整个晶片上均匀分布温度。这导致了一个高效的热扩散过程,甚至整个晶片的加热,这可以根据期望的结果进行调整。其结果是整个晶片的温度非常均匀,确保了最低温度梯度和总体的高可靠性。TOKYO ELECTRON VDF 615S的其他功能包括固态控制器、触摸感应视觉显示器、双层不锈钢结构、水冷轴和监控系统。空气供应系统也升级到新SS-C-V-1,对温度变化作出快速反应,并获得无危险气体认证。VDF 615S自1990年代初起成为TEL扩散炉管线的一部分,并被广泛用作生产可靠集成电路的行业标准。它旨在超过所有温度均匀性要求,并在处理过程中最小化温度梯度。凭借其先进的技术,为IC生产提供可靠、快速、高效的性能。
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