二手 TEL / TOKYO ELECTRON VDF 615T #178007 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VDF 615T扩散炉是一种可靠、先进的用于半导体基板加工的工具。其广泛的能力包括高温氧化、氮化和热处理。该炉由一个铝室、两个加热区、两个冷却区、一个气体面板、两个气体歧管、一个晶圆传递臂以及一个装有100毫米样品加热盒和各种配件的前厅组成。炉膛采用波纹金属制成，保证最大热效率。它有两个独立可控的供热区和两个制冷区。第一个加热区用于在加工过程中调节温度，而第二个加热区用于在扩散加工之前预热材料。这两个区域均由带有PID类型控制器的外部控制器以及精确温度传感器操作。它还具有高性能的Pomega燃烧器系统和低辐射辐射的Hi-Velocity柴油低NOx燃烧器。气体面板被设计用来向腔室供气，供气，供氮，供氢。它借助两个气体歧管调节气流、压力、温度和组成。它还包括一个用于准确控制气体的质量流量控制器。晶圆传递臂是一种气动操作的动作臂，用于将基材输送进和送出炉子。它由两个连接的臂组成，一个垂直，一个水平，一个晶圆夹固定在交叉点。它由可编程的电动系统控制，并配有用于快速移动加热基板的冷却管线。前厅配有100毫米样品加热盒和各种配件。使用六区耐火加热元件的样品加热盒，可将样品加热至900 °C。它还具有一个加热器传感器来测量加热器的温度。附件包括26通道高温计、气流控制单元、压力调节器、真空计以及各种真空阀。TEL VDF 615T扩散炉是一种可靠、先进的工具，具有多种特点，适合半导体基板加工。它由优质材料和部件构成，保证了精确稳定的温度控制。其广泛的功能使其成为半导体加工应用的绝佳选择。