二手 TEL / TOKYO ELECTRON VCF-615 #108347 待售

TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615是一种用于制造光刻膜面膜的扩散炉。可用于成功生产各种厚度和尺寸的高分辨率薄膜。TEL VCF-615特别配备了快速加热垫、热壁式电阻加热和高温控制环境。它的腔室由不锈钢构成，最大限度地减少热量损失和辐射。此外，它的上部和下部敏感物是由石英基板组成，因此最大限度地传热。该扩散炉以三种不同的模式运行，即单级、两级（前后）和三级温度控制。在单级模式下，最高温度调节在500-625℃之间，炉在单个温度级运行。在两级温度控制过程中，两个感受器中的每一个都是独立控制的，允许更高程度的温度稳定性。最后，三级温度控制允许两个连续温度步骤的重迭，并产生极其精确的温度控制。此外，TOKYO ELECTRON VCF-615还具有自动门脱离接触功能，允许在转移工件时快速单动打开。VCF-615还配备了若干安全功能。其浓缩热通过氧化铝消声器扩散，防止潜在危险的热辐射，同时减少热量损失。此外,在紧急情况下还安装了紧急冷却系统,将腔室冷却到适当的温度。此外，TEL/TOKYO ELECTRON VCF-615有一个可选的水冷却罩，在确保异常的温度均匀性方面起着至关重要的作用。总之，TEL VCF-615扩散炉具有精确的温度控制、快速的加热系统和广泛的安全特性，非常适合生产光刻膜面膜。它能够生产各种厚度和尺寸的高分辨率薄膜，对各种应用都有很大的帮助。