二手 THERMCO 4100 #9046507 待售

THERMCO 4100是为半导体工业退火应用而设计的扩散炉及配件设备。它是一种高效可靠的退火系统，利用获得专利的扩散大气和精确的热控制来产生优异的效果。4100是一种大气控制退火装置，能够处理直径达150毫米的掺杂晶片和未掺杂晶片。这台机器非常适合在400°C至900°C的各种温度范围内进行高效的硅片处理。它具有全方位的工艺窗口，包括快速热退火、离子植入退火、毯子扩散退火、撞击等离子体退火、高真空退火。THERMCO 4100配备了自动大气控制工具，可持续监测室内环境，对大气进行精确控制。这种大气控制确保了退火室内适当的成分、纯度和压力。这种快速但精确的温度控制对于控制和可重复退火结果至关重要。4100还设有一个"负载锁"腔室，可有效地装卸晶片，而无需排气或打开退火腔室。该过程防止任何污染物进入腔室，从而确保过程结果的完整性。THERMCO 4100还包括一个高度精确可靠的温度和压力控制资产。这包括用于严密温度控制的PID温度控制器和用于精确端点加压的压力调节器。它还具有一个内置的石英监视器，以提供实时晶圆温度测量和确保最佳的热性能。总体而言，4100由于其精确的热控制和高效的晶圆处理，是半导体行业理想的退火模型。它的模块化设计允许与任何其他兼容的工艺工具轻松集成。由于其用户友好的编程控制器,它提供了卓越的温度控制、过程均匀性和可重复性.自动大气控制和负载锁定设备确保了清洁和一致的处理环境。THERMCO 4100是实现退火和可重复退火结果的理想解决方桉。