二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9280675 待售

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200是一种用于微电子器件制造的蚀刻/asher设备。它旨在对各种半导体和/或微电子器件材料的蚀刻和灰化过程进行精确控制。该系统通过高级诊断和最新的蚀刻/灰分产品提供增强的过程控制。ADIXEN AMS 4200是一个完全自动化的模块化蚀刻器/asher单元,由两个基本组件组成：输入显示显示器和蚀刻/灰烬室。显示器由8.4英寸彩色触摸屏显示器组成,可访问一系列可调节的参数,以确保精确的处理能力。直观的图形用户界面可轻松浏览各种蚀刻/灰烬选项。8.4英寸触摸屏显示屏具有4步引导控制、手动操作、基本信息综合菜单和实时动态操作监控功能。蚀刻器/灰化器腔室由两个可单独安装的腔室组成，即蚀刻腔室和灰化室，通过气体管线连接。蚀刻室由交流反馈电路组成，该电路控制步进电机，以控制不同数量的加工气体和蚀刻时间，从而产生所需的蚀刻/灰分剖面。灰化室由陶瓷材料加热器组件、压力传感器和三个石英热电偶组成。ALCATEL AMS 4200还具有低温兼容性，以实现温度敏感材料的蚀刻/灰化工艺。机器可以单片或多片模式操作。AMS 4200还提供用户安全功能,例如在温度过高、压力条件和/或气流异常的情况下紧急停止开关。PFEIFFER AMS 4200的温度范围为0-1000 °C，工艺压力范围为0.2-7.5 torr。该工具设有用于样品调节的压力室气体连接和手动通风管连接。建筑材料为不锈钢、铝、Pyrex。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200提供了一系列功能，包括过程控制精度、自动晶片装卸以及多种过程类型的兼容性。适用于半导体器件制造中的多种材料蚀刻，包括Si、SiGe、SiO2。