二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 4200 #9304661 待售

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ID: 9304661
晶圆大小: 6"
优质的: 2007
Etcher, 6" (2) Dry etch chambers With (1) E-chuck BROOKS AUTOMATION Handler (4) Chambers Load / Unload station (4) Pumps Control units (2) Chillers PWD Cabinet / Scrubber (3) Computer consoles (2) LN2 Tanks Process chamber 1: Silicon oxide (RGV Dielectric) etch process module RIE Source reactor Substrate holder with E-Chuck, 6" Bias 600 W LF Reactor pump: ADP 122H and ATH 1600M on DN40 Throttle valve Gas lines: CF4, O2, CHF3, He Process chamber 2: Silicon etch process module ICP Plasma source Cryo temperature process Cryogenic substrate holder With mechanical clamping chuck, 6" Source: 3 kW RF Auto matching network Laser view port adapter Pumping line to pump down the substrate holder He backside cooling Bias 300 W RF LN2 Controlled cooling Dewar LN2 tank PM ADP 122 Reactor pump ATH 1600M Maglev turbo pump DN200 Heated throttle Cold trap Gas lines: SF6, O2, O2, N2 Handling platform: BROOKS AUTOMATION MX 600 Platform with MAG 7 robot 6-Sided platform: (2) Process modules (2) Cassette modules (2) BROOKS AUTOMATION VCE6 Cassette modules Electrical cabinet RF Generator PLC Breaker Control module End point detection Accessories Etch module with gas cabinet: CF4, O2, CHF3, He, Ar, N2 Etch module with gas cabinet: SF6,O2, O2,N2 BROOKS MX 600 Handler platform (2) Control cabinets Power distribution cabinet (2) ADP122H Fore pumps (2) A100L Fore pumps (2) Chillers Transformer, 125 KVA GUI, (3) Consoles Gas abatement, centrotherm Manuals Cables Hoses Computer Endpoint detectors 2007 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 4200 蚀刻器/asher是一种精密的等离子体蚀刻和灰化设备,用于各种薄膜材料。它用于生产具有严格精度的高质量几何形状、方向图桉和结构。该系统非常适合溅射、蚀刻和清洗过程。该设备具有高度紧凑的外形和各种创新功能,旨在满足当今蚀刻和清洁需求。其先进的蚀刻技术允许精确、可重复的等离子体蚀刻和灰化过程,能够实现非常精细的轮廓几何形状。该机具有非常短的处理时间,同时由于其自动化的刀具控制也提供了卓越的工艺可靠性。该资产专为薄膜材料的溅射、蚀刻和清洗所需的准确性和可重复性而设计。它具有从各向同性蚀刻到选择性蚀刻的各种清洁选项。其先进的离子束沉积和脉冲处理系统允许产生非常精细和一致的蚀刻/灰分模式。它的开放式腔室设计提供了过程的无限制视图,同时提供了一个恒定的环境,确保在整个蚀刻/灰化过程中具有高度的均匀性。该模型还拥有各种各样的灵活性和定制选项。它有一个可调的流动喷嘴,这使得被输送到基板上的粒子效率最大化。该设备还具有全自动过程控制器,可确保蚀刻/灰烬过程中的高重复性和一致性。该工艺控制器允许用户定制特定材料的等离子体蚀刻和灰化配方,确保尽可能高的蚀刻和灰化效率。ADIXEN AMS 4200 蚀刻器/asher是一种先进且可靠的蚀刻和灰化系统,能够为用户提供广泛的好处。它在蚀刻和灰化过程中提供了更高的准确性和可重复性,同时还提供了极短的过程时间。它的开放式腔室设计和过程控制器允许更大的灵活性和定制,确保用户获得他们的蚀刻和灰化过程的最佳结果。
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