二手 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9286872 待售

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR
ID: 9286872
Dry etcher.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是一种高负载、工艺兼容的蚀刻器/asher,用于各类工艺中的蚀刻/ashing和其他真空处理程序。此蚀刻器具有高负载容量和高蚀刻/灰化率,因此可以正常工作。ADIXEN GIR可用于加工薄膜材料,如半导体材料和高k电介质。也可用于薄膜材料的切割/剥离。机器有一个温控蚀刻/灰室的设备,可以根据工艺要求设置和使用。ALCATEL GIR在真空室中有一个由集成电动机和旋转叶片泵驱动的可变角度涡轮泵。这允许在低温和高温应用中进行精确和精确的蚀刻/灰化。GIR利用精确的计算机控制步进电机来精确控制蚀刻/灰化率,并确保一个可重复的过程。该系统还包括真空振荡器,进一步提高了蚀刻/灰化精度。蚀刻/灰化过程由前端可编程用户界面控制。这提供了一个功能齐全的图形用户界面来控制设备参数。此用户界面具有直观的布局,使设置和控制蚀刻/灰化过程变得简单而直观。PFEIFFER GIR还包括一个用于过程优化和控制的串联监控机器。ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR是用先进的耐热和耐化学材料建造的,以抵御高温和各种腐蚀性化学品。蚀刻/灰化室由不锈钢制成,设计用于坚固的性能。这样可以确保过程质量完美无瑕且可重复。总体而言,ADIXEN GIR是一种高负载真空工艺兼容的蚀刻器/asher。它设计用于处理各种蚀刻/灰化过程和材料,并具有精确、计算机控制的步进电机,用于精确和精确的蚀刻/灰化。ALCATEL GIR由坚固的材料构成,以确保工艺质量完美无瑕。GIR还具有用户友好、直观的图形用户界面和在线监控工具,以确保流程优化和控制。
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