二手 AXCELIS / FUSION RapidStrip 320 #9254126 待售

AXCELIS/FUSION RapidStrip 320是为半导体制造行业高速生产而设计的先进蚀刻/灰分工艺模块。此工具可提供高达120埃/分钟的快速硅蚀刻速率和低温灰处理,以满足先进的技术泄漏和介电松弛要求。FUSION RapidStrip 320具有多项功能,例如SmartStrip工艺控制算法,可确保出色的蚀刻均匀性和可重复性,以及高吞吐量的生产模块,每小时最多可产生500个晶圆。它的双极性等离子体盒能够处理任何类型的蚀刻剂，如碳氟化合物、氟硅烷和氟硼烷化学物质，从而确保最大限度地提高使用时间和设备利用率。AXCELIS RapidStrip 320还采用了化学机械抛光（CMP）系统,该系统无需手动研磨、抛光和电镀步骤,并确保了基板的高精度蚀刻和灰化。其先进的蚀刻控制技术在控制蚀刻速率之前结合了等离子体功率、流速和基材种类等因素。这样可以确保所有步骤的执行准确、一致且差异最小。这些特点与先进的安全和环境控制相结合，例如清洁区概念，它减少了挥发性有机化合物的排放。RapidStrip 320还采用了高清等离子体诊断系统（PDQ）,该系统可连续监控等离子体清洁度并提供实时调整,以确保微粒污染。AXCELIS/FUSION RapidStrip 320具有先进的技术和用户友好的界面,是高效生产具有严格操作标准的高复杂性基板的理想系统。