二手 GASONICS / NOVELLUS L 3510 #9259241 待售

GASONICS/NOVELLUS L 3510是一种高性能化学气相沉积（CVD）蚀刻器/asher，设计用于浅层沟槽隔离（STI）应用。其特点是改善了亚四分之一微米尺寸的沉积均匀性，同时提供了较高的蚀刻速率和较低的排便。GASONICS L 3510是一种单室工具，带有可旋转卡盘，用于半导体晶圆加工，具有先进的超高真空（UHV）腔室设计。NOVELLUS L 3510配备了变频射频源、两个独立的等离子机、一个可配置的多探针加载系统（MPLS），以及一个用于空间位置控制和精确微调的高速内部激光干涉仪。L 3510中的高度自动化控制器提供精确的气体流量和温度控制,并提供全面的过程诊断功能,以确保晶圆的高效处理。GASONICS/NOVELLUS L 3510具有向基板精确输送工艺气体的能力，其提高的精度和位置控制使其能够在较低的压力和温度范围内运行。腔室设计允许处理高达200毫米的晶片,在大面积设备的整个基板表面上,其特征尺寸变化低至500埃,均匀度为0.25 nm。GASONICS L 3510提供了几个功能，提供了最高的蚀刻选择性和改进的性能。它具有平行的背面带源、改进的底部带源和改进的卫星源。这样可以实现更好的可重复性和更高的吞吐量。具有图形用户界面（GUI）的复杂循环计算机为配方的创建和管理提供了最终的便利和支持。总体而言,NOVELLUS L 3510是一款高级蚀刻器/asher,可提供高水平的性能和准确性。它能够在高通量、低排便的基板上沉积薄膜，非常适合基于STI的应用。是在保持最高产量和最佳影片质量的同时提高精度和吞吐量的有效途径。