二手 LAM RESEARCH 9600CFE #9396017 待售

LAM RESEARCH 9600CFE是一种蚀刻/asher设备,它提供高精度的模具级（5 µm）蚀刻和成像功能,以实现最复杂的设备设计。LAM RESEARCH 9600 CFE提供湿式或干式等离子体蚀刻及其可配置的气体输送,从而实现最大程度的工艺控制和准确性。9600CFE与所有主要真空系统和计量工具完全兼容。9600 CFE设计用于低偏转系数的高分辨率、精密蚀刻。该系统可用于各种工艺挑战，包括深层接触蚀刻、浅层沟槽隔离、纳米级特征图样、细线图样以及3D结构的精确蚀刻。它具有模块化腔室配置,可实现单腔或多腔室蚀刻应用,从而提高效率。LAM RESEARCH 9600CFE还配备了用于低场等离子体放电的集成射频发生器，提供了更强的过程控制。LAM RESEARCH 9600 CFE先进的自动化和控制系统确保了高生产率和准确性。它具有多站机器人晶圆转接端口，可快速装卸，并具有扩展的操作员安全功能。它还具有嵌入式诊断,以持续监控和最大化效率。9600CFE提供了一个全面的软件程序，允许高度优化预测过程控制。此程序与Windows完全兼容，使客户可以轻松控制单元并监控进度。用户友好的软件简化了对蚀刻参数的控制过程，提供了保存、检索和编辑程序的能力。9600 CFE是一种高度可靠且可重复的aher/etcher机器,非常适合前沿设备工程应用。它占地面积小,符合人体工程学设计,非常适合各种环境,包括研发实验室、工业工厂、半导体设施和大学。LAM RESEARCH 9600CFE具有灵活的可配置性、先进的自动化和预测性的过程控制,是蚀刻精度和可靠性的绝佳选择。