二手 LAM RESEARCH Exelan A6 #9093942 待售

LAM RESEARCH Exelan A6是一款高级蚀刻器/asher设备,专为蚀刻和灰化工艺而设计。它采用强大的模块化设计体系结构构建,能够在苛刻的生产环境中实现高性能和高效的操作。Exelan A6利用精确的蚀刻和灰化技术来创建最精确的基板结构。该系统由具有低压射频等离子体腔和高速输送机的大型、经济高效的涡轮PECVD（等离子增强化学气相沉积）单元组成。这台机器具有高速气体分配，允许更高的和精确控制的过程速率。LAM RESEARCH Exelan A6的等离子体腔室、射频发生器和控制器设计为实现高效蚀刻和灰化工艺。腔室体积足够大，可以容纳较大的基材尺寸和较长的加工时间，使其成为大规模生产的理想工具。Exelan A6支持可以精确控制气流、压力、温度、射频功率等工艺参数的先进自动化。该软件允许用户配置最多20个独立的流程配方,这些配方可以保存并重新用于将来的处理。这些集成的自动化功能能够跟踪流程配方、监控流程以及诊断处理过程中可能出现的任何问题。集成的洁净室和隔离系统使LAM RESEARCH Exelan A6能够在清洁环境中运行。凭借其内置的安全功能和先进的诊断,资产可以在发生紧急情况时自动关闭,并能够检测和报告任何问题,如异常压力、温度过高和功率干扰。Exelan A6为制作蚀刻和灰化工艺提供了可靠高效的平台，允许与其他工艺（如光刻、压花、真空工艺和其他相关工艺）集成。最终，该模型可以快速、轻松地为各种工业加工微型和纳米尺寸的基板结构。