二手 LAM RESEARCH TCP 9600 #138939 待售

LAM RESEARCH TCP 9600是为了在半导体製造过程中生产晶圆、光掩模、基板和封装而设计的蚀刻器/灰化器。LAM RESEARCH TCP9600的设计考虑了特定的工艺参数，是为需要高均匀性和电介质均匀性的最困难的基板而设计的。TCP-9600旨在提供更高的吞吐量、更高的蚀刻质量和更好的过程控制。LAM TCP9600 蚀刻器/asher采用先进射频优化蚀刻技术的高性能晶圆加工室。TCP 9600腔室的尺寸可一次容纳多达12个晶片,并配备可调节的射频功率和频率,以精确控制蚀刻过程的选择性和均匀性。蚀刻器/asher还具有集成的高频模块,以确保对关键气体不产生潜在影响。LAM RESEARCH TCP-9600的设计符合SEMI S2合规性标准,并且完全模块化。这样可以轻松修改和配置蚀刻器/asher,以满足客户的特定要求。LAM RESEARCH TCP 9600还具有专有的射频控制系统,该系统旨在优化蚀刻速率和边缘轮廓,以实现一致、可靠和可重复的结果。送入腔室的射频频率、功率水平和气体都是可调的，允许对大多数材料进行独立优化。LAM RESEARCH TCP9600还采用了同步、多气体的单声道工艺，不仅提高了精度，而且减少了整个蚀刻过程的总时间。最后,TCP-9600蚀刻器还具有高性能的抗反射涂层（ARC）模块,在处理石英、聚酰亚胺和其它电介质等材料时,该模块可实现更高的蚀刻速率和更高的选择性。这样可以确保ARC涂层均匀分布在基板表面上,从而提高铝箔的质量。综上所述，TCP9600 蚀刻器/asher是专门为生产晶圆、光掩模、基板和封装而打造的精密蚀刻工具。性能和可靠性不受限制,因为此设备是按照SEMI S2合规性标准构建的。TCP 9600通过其先进的射频控制系统和可调参数，在不同的基材和条件下提供了最佳的蚀刻速率和最优均匀性。