二手 PLASMA SYSTEMS DES 212 #9179457 待售

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PLASMA SYSTEMS DES 212
已售出
ID: 9179457
晶圆大小: 5"
Asher, 5".
PLASMA SYSTEMS DES 212 Etcher/Asher是一种真空等离子表面处理设备,设计用于金属、塑料和陶瓷材料的精密蚀刻、灰烬和表面处理。该系统使用气体离子、热量和射频(射频)处理的组合来操作,以去除基板表面的材料。它非常适合高精度复制大小元件,以及在基板表面上创建各种纹理、蚀刻、装饰和保护层。PLASMA SYSTEMS DES-212可以编程为提供各种过程参数,如等离子体气体浓度、基板温度、光束强度和光斑大小、等离子体压力、曝光时间和停留时间。这些工艺参数控制以及所用气体的质量允许对蚀刻和灰烬工艺进行特殊控制。此外,该单元还可以加工多种材料,包括合金、金属和陶瓷,尺寸可达1.2英寸,并具有根据基材类型可调节的宽工艺窗口。该机具有抗氧化的不锈钢腔室,为等离子体加工提供了最佳真空环境。它还具有可编程数字压力控制器和真空安全阀,以及防止电干扰的动力控制工具。内置射频发电机为蚀刻和灰烬处理提供均匀的配电,链路连接功能允许远程监控。DES 212是用于表面蚀刻、灰分和处理过程的强大工具。该装置结构坚固,工艺参数控制良好,气体浓度控制精密,是精细零件生产的理想选择。其可靠的性能可确保使用蚀刻器/asher生产的原型和零件保持最高质量,并始终符合所需的规格。
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